MEMS传感器

MEMS传感器即微机电系统，MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，MEMS传感器与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。