前段Array制程:薄膜/黄光/蚀刻/剥膜(二)
我们以一个像素单位为例,如上图,这个像素中,浅色部分未曝光,而深色的是曝光部分。
接着,用显影剂将曝光部分的光刻胶清洗掉,这样就只剩下未曝光的光刻胶部分,然后用去离子水将溶解的光刻胶冲走。
显影之后需要加热烘烤,让未曝光的光刻胶更加坚固的依附在ITO玻璃上
然后用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO膜的蚀刻掉,只保留光刻胶下方的ITO膜。ITO玻璃为(In2O3 与SnO2)的导电玻璃,未被光刻胶覆盖的ITO膜易与酸发生反应,而被光刻胶覆盖的ITO膜可以保留下来,得到相应的拉线电极。
前段Array制程:薄膜/黄光/蚀刻/剥膜(三)
剥膜:用高浓度的碱液(NaOH 溶液)作脱膜液,将玻璃上余下的光刻胶剥离掉,从而使ITO玻璃形成与光刻掩模版完全一致的ITO图形。
用有机溶液冲洗玻璃基本标签,将反应后的光刻胶带走,让玻璃保持洁净状态。这样就完成了第一道薄膜导电晶体制程,一般至少需要5道相同的过程,在玻璃上形成复杂精密的电极图形。
用相同的方法在玻璃上拉出其他的ITO电极图形
形成复杂精密的电极图形,可以更好的控制液晶分子的运动
这样,前段Array制程就结束了。从整个过程不难看出,前面在TFT玻璃上沉积ITO薄膜、涂光刻胶、曝光、显影、蚀刻,最终是为了在TFT玻璃上形成前期设计好的ITO电极图形,以便于在玻璃上控制液晶分子的运动。整个生产过程的大致步骤并不复杂,但是技术上的细节和注意事项非常繁琐,这里我们就不多做介绍了,有兴趣的朋友可以自行查阅相关资料。
液晶板所用玻璃的制造工艺也是非常讲究。目前,全球最大的液晶面板用玻璃,主要由美国康宁、日本旭硝子等厂商提供,处于液晶面板生产制造的上游,这些厂商都掌握着玻璃生产工艺的技术专利。前几个月,由于地震造成康宁玻璃停炉事件,对液晶面板行业造成了一定的影响,可看出其在行业内的地位。