图4
对于接下来是ArF（wet）或浸没式。如图5所示， ASML以88.6％的份额领先ArF浸没式DUV产品市场。这些工具的价格在40美元到6000万美元不等。
正如上面所提到的，尼康想依靠浸没式ArF设备和多模技术打入10nm市场，还没开始就已经输了，因为在该领域ASML才是真正的领导者。
图5
图6是EUV行业的市场情况。这些设备的价格都高于1亿美元。
图6
佳能只销售I-line和KrF光刻设备。这是低成本的设备，尽管佳能在销售的数量上很好看，但是收入仅为3亿美元，而ASML却是51亿美元，很大的差距。
佳能发力10nm以下工艺，押宝纳米压印光刻技术，这是得克萨斯大学发明的，在Molecular Imprints公司得意进一步完善。2014年，佳能收购了这家公司。
