近日,肖特集团,Inkron公司,EV集团(EVG)和光波导元件厂商波光(WaveOptics)在2020美国西部光电展上展示了全球首个在玻璃基板上制成的折射率为1.9、结合纳米树脂结构的波导片。该波导片的生产基于一个300mm晶圆上完成,此晶圆现已可批量生产。
图片来自EVG
德国肖特现推出折射率为1.9,直径为300 mm的肖特RealView™高折射率玻璃晶圆。 此晶圆的批量生产为下一代AR波导片的量产提供了基础,在保证AR所需的极高精度标准的同时,单位成本更低。纳米技术公司Inkron所生产的树脂折射率为1.9,凭借全集成和体量验证的EVG HERCULES® NIL纳米压印工艺平台,该树脂可在单个300 mm SCHOTT RealView™1. 9晶圆上压印多达24个波导片。此产品融合了高性能波导光学设计公司WaveOptics提供的先进的波导结构,肖特的专业光学玻璃制造经验,Inkron的创新树脂配方与EVG的标准纳米压印工艺(NIL)。
在美国旧金山,2月1日至6日期间举办的2020美国西部光电展,肖特及其合作伙伴将会在展会上展示RealView™高折射率玻璃晶圆 ——肖特(841号展位),Inkron(5279号展位)和WaveOptics(演示厅8号展位)。
图片来自肖特
肖特RealView™高折射玻璃晶圆系列适用于增强现实(AR)和混合现实(MR)设备:300mm晶圆可提供高达65°的广阔视野,配有1.9折射率更实现了沉浸感极高的用户体验。
更大尺寸的晶圆,1.9的高折射率,可与光学树脂结合
“市场对与高折射树脂相结合的高折射玻璃一直都有很高的需求。肖特携手合作伙伴Inkron再一次为先进波导的基础设备提供了最先进的解决方案。” 肖特增强现实领导人Ruediger Sprengard博士说。“最新一代的肖特 RealView™ 光学玻璃性能可以与高折射树脂相结合,并能满足EVG 的NIL工艺实现批量生产的要求,我们已经可以开始下一代视场波导片的制造了。”
在2020美国西部光电展上,各公司将首次公开展示为大规模生产宽视场角设备所做出的努力。高折射率玻璃和树脂的这种新组合在300mm晶圆上的应用并证明了300mm玻璃与树脂的兼容性,为低成本的AR波导制造系统奠定了基础。
消费级AR设备之路的下一个里程碑
“与合作伙伴Inkron和EVG联手,这标志着我们朝着满足消费者市场方向迈出了重要一步。一方面,我们用性能卓越的产品对AR玻璃晶圆进行不断创新。“肖特AR创新经理Frederik Bachhuber博士说: “另一方面,我们与强大的伙伴合作,为这些零件赋予了 “光学生命” ,而且马上可实现批量生产!”
在EVG的NIL光子学技术中心,便使用其专门的晶圆加工设备制造演示器。该演示器中包括EVG最近推出的HERCULES®NIL 300 mm全模块化和具有SmartNIL® 技术的集成式UV-NIL系统,可在直径最大为300 mm的基板上复制结构。Inkron的高RI树脂IOC-133具有高折射率(1.9)、出色的可加工性和光学性能。这些材料特征与肖特 RealView™基板以及EVG的专业工艺相结合,为WaveOptics的波导设计奠定了坚实的基础。
WaveOptics是衍射波导的领先设计者和制造商,它提供的波导技术平台具有最宽的视场范围(对角线在15°和60°之间),以及最大尺寸的眼罩,可定制以满足客户的各种需求。肖特也为业界提供最广泛的产品组合,从直径为100,150, 200,到300mm的晶圆,可分别实现从1.5到1.9不等的折射率。
值得一提的是,肖特的RealView™玻璃晶圆被国际信息显示协会(SID) 评为2019年显示行业年度最佳显示组件奖。
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