在显示行业,三星显示和LG显示也已将日本产的氟化氢液全部转为本地化。而在半导体行业,三星电子和海力士半导体也纷纷提高了国产氟化氢液体的比例。此外,各公司也陆续开始与美国等国家合作以促进氟化氢进口来源多样化。
除氟化氢以外,韩国用于在芯片上形成电路图案的光阻剂也有92%产自日本。目前,韩国已于比利时和德国等国家就相关进口达成合作。国内,诸如东进世美肯(氟化氩重要生产商)等国内企业也将扩大工厂规模。SK材料公司还计划在明年完成其氟化氩工厂的建设,并在2022年开始投入生产。
用于5纳米以下超精细制造的EUV光刻的光阻剂尚未能实现本地化生产。不过美国杜邦公司已决定在韩国设立光刻胶工厂,且通过其他国外企业,韩国已经能确保该材料的稳定供应。
此外,氟化聚酰亚胺也是目前面临进口限制的关键材料之一,韩国各方正在推进其生产国产化。这种材料主要用于可弯曲显示器的生产,如可折叠智能手机和可滚动电视。去年,德国科隆工业公司在韩国投建了相关生产设施,开始大规模生产氟化聚酰亚胺。
韩国政府在确保材料安全和本地化生产方面发挥了重要作用。为推进技术发展,韩国贸易部自2002年起就扶植光阻剂生产,从2010年开始支持氟化聚酰亚胺的生产。
“政府和企业的努力决不能消失。”半导体用加热器和静电吸盘生产公司MiCo表示,“政府基金应该继续增加,以加大在材料行业的竞争力。”