专访神工股份董事长潘连胜:芯片国产补短板 晶圆良率是关键

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晶圆厂的生命线在于良率

晶圆的尺寸越大,在单片晶圆上制造的芯片数量就越多,芯片的单位成本也就越低。

因此,在摩尔定律的支配下,当芯片制程从90nm向7nm甚至5nm逐渐缩小时,先进制程所采用的主流晶圆尺寸,却从8英寸向12英寸逐渐增大。

目前,全球市场主流晶圆尺寸是8英寸(直径200mm)和12英寸(直径300mm)。据国际半导体设备与材料协会(SEMI)统计数据显示,按面积单位计算,2018年两者全球市场份额分别为26.34%和63.31%,合计近90%。

国内厂商的产能多集中于8英寸以下的小尺寸晶圆。有研科技集团是央企序列中研发半导体硅材料的主要厂家之一。有研董事长赵晓晨曾在2019年底的采访中表示,我国80%的8英寸晶圆和全部12英寸晶圆都依靠进口,半导体领域高品质材料自给率不足10%。

沪硅产业(688126.SH)总裁兼总经理邱慈云,曾在2019年底的演讲中如是形容大尺寸晶圆的制造之难:晶体不仅要完美生长、纯度高,而且表面要非常洁净和绝对平整——颗粒尺寸只有PM2.5的1%大小,平整度相当于1000公里内起伏小于30厘米。

能够生产出纯度较高的单晶硅固然已经不易,而“良率不高”才是大硅片国产化进程的最大障碍。

从硅单晶成长到加工制造成晶圆,至少有十几道工序。光说加工过程,只有每道工序的良率都达到99%以上,才能让最终的晶圆良率达到90%以上,才有资格与世界领先的晶圆制造商——信越化学和胜高同场竞技。

关于晶圆品质一致性问题,潘博士做了一个形象的比喻:“同样是遵循正态分布,信越化学的晶圆质量分布曲线就像是挺拔的‘东京塔’,稳定集中于高品质标准。相比之下,其他厂商的曲线往往就像‘富士山’,虽然也能触及高品质标准但并不很集中,良品率也就没那么高。”

因此,仅仅把大尺寸晶圆“做出来”还远远不够,良率太低也就意味着成本过高,也就没有市场竞争力,最终还是难以盈利,在商业上不可持续。产品是否被下游芯片制造厂商长期批量采购,是检验其成败的试金石。

亿欧科创查阅公开信息了解到,沪硅产业旗下的上海新昇,是目前大陆唯一一家实现12英寸晶圆量产的企业。邱慈云在公开演讲中透露,截至去年年底,其12英寸晶圆出货量已累计超过100万片,然而其中仅有7.5万片是用于制造芯片的“正片”。沪硅产业2019年度营收同比增长47%,营业利润却下滑近300%,背后主因就是12英寸晶圆业务毛利率同比下滑42.77%,为-47.96%,该项业务亏损1.03亿元。

2017-2020年全球晶圆厂规划分布

2017-2020年全球晶圆厂规划分布

尽管良率爬升困难,靠大尺寸晶圆盈利障碍重重,但是国内厂商们却不能有丝毫懈怠。1996年,以西方国家为主的33个国家签订《瓦森纳协定》,对常规武器和双用途物品的出口进行信息交换和控制。随着中美贸易摩擦加剧,美国频频通过出口管制和《瓦森纳协定》围堵中国半导体行业,晶圆禁运也许将是最终极的杀招。

巧妇难为无米之炊,晶圆国产替代形势愈发迫切,时不我待。

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