ASML光刻机能否卖给中国?可以但EUV受限

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国产光刻机走到哪一步?

世界上做光刻机的除了ASML以外还有尼康和佳能,但是为什么各大企业都想购买ASML的光刻机?很简单,在繁杂的光刻机制造过程中,ASML扮演的是集大成者,将全球范围内近8000个核心零部件整合最终造出一台光刻机,其设备上不仅拥有最顶级的光源技术(激光系统),在其他精密仪器方面也达到了世界顶端。

虽然最近十几年我国一直在致力于研究光刻机,但是取得的成果并不是很明显,目前我国光刻机最高技术也就上海微电子所生产的90nm光刻机。

90nm跟28nm或者是7nm从数字上来看差距不大,但光刻机每上一个台阶技术难度就会大大增加,从90nm跨越到65nm并不难,再从65nm升级到45nm难度加大,至于28nm、14nm、7nm、5nm,甚至未来有可能出现的3nm、2nm,难度进一步加大。也正因为如此,我国的光刻机的研发进度一直都比较缓慢。

对我国来说,要想制造高端芯片,在当前肯定是离不开海外巨头的支持。但是未来必须将核心技术掌握在自己手里,不过时间到底要多久还很难说。

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