众所周知,目前严重制约国产芯片制造技术进步的设备,就是光刻机了,因为目前全球最先进的光刻机是ASML的EUV光刻机,用于7nm及以下的芯片生产,仅ASML能够生产,却不能卖给中国大陆。
而国内最强的上海微电子生产的光刻机,还在90nm,业内人士表示,我们与ASML的差距可能得有10年以上。
也正因为买不到EUV光刻机,所以我们目前的芯片制造技术还停留在14nm,所以发展自己的光刻机,成为了当前芯片市场的重中之重。
而近日,传出一则消息,那就是华为也开始布局光刻机了,华为旗下的专业投资半导体产业的哈勃投资,正式入股北京科益虹源光电技术有限公司。
所占股份大约为4．7619%,而投资金额大约在1000万元左右,目前科益虹源的注册资金变成了20160万元。
科益虹源是什么来头?它是国内唯一,也是全球第三家具备193nm ArF准分子激光技术研究和产品化的公司。
在2018年的时候,科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器顺利出货,目前已经是国内光刻机厂商上海微电子的光源系统供应商。
此外,科益虹源还承担了“02重大专项浸没光刻光源研发”、“02重大专项核心零部件国产化能力建设”、“02重大专项集成电路晶圆缺陷检测光源”等国家专项,可以说是目前在光刻机光源这个核心技术上,最厉害的国产厂商了。
当然光刻机中的核心部件特别多,比如ASML的EUV光刻机,有10多万个零件,光源之只是其中的一部分,但如果要攻克光刻机,光源是必不可少的部分,也是必须要攻克的部分,是核心中的核心。
所以华为哈勃投资入股科益虹源,很明显,是为了加码布局光刻机领域的研发,毕竟华为目前非常需要国产芯片制造技术能够崛起。
所以争取国产光刻机,早日能够突破,追上甚至超过ASML的水平,那么国产芯片制造技术,就会有长足的进步。
