近日,光刻机制造企业ASML公布了2021年第二季度财报。财报显示,ASML净销售额为40亿欧元,毛利率为50.9%,净收入10亿欧元。
根据ASML的的财报透露,当前第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机系统已经交付,不过并没有透露客户的具体名字。此次全新的光刻机相比NXE:3400C生产力提高了15-20%,覆盖率提高了约30%。
值得注意的是,ASML第二季度的预订额为83亿欧元,其中EUV极紫外光刻机就有49亿欧元,而总的积压订单金额已达175亿欧元,这足以证明当下光刻机的生产仍有预订压力。ASML表示,正努力增加EUV光刻机在存储行业的量产应用,计划协助三个DRAM内存芯片客户在未来的工艺节点中导入EUV。预计ASML在第三季度的净销售额52-54亿欧元,毛利率51-53%。
据悉,目前ASML的EUV光刻机仍属于第一代产品,最早一代产品是NXE:3400B,其晶圆产能只有125PWH。而当前的助力产品为NXE:3400C,晶圆产能产能提升到135WPH,最新的NXE:3600D光刻机其产能进一步增加,提升至160WPH,其价格有可能达到1.45亿美元。此外,ASML也将在未来几年推出第二代EUV光刻机,或将是NXE:5000系列,物镜NA提升到0.55,进一步提高光刻精度,价格可能来到3亿美元,原计划将于2023年推出,目前推迟至2025-2026年。