全世界能生产EUV光刻机的厂商就一家,那就是荷兰的ASML。
为何只有ASML能够生产EUV光刻机?原因在于ASML绑定了好多的巨头,且是独家合作的,比如蔡司、比如德国TRUMPF公司,这些巨头在极紫外线制造技术,收集技术上达到极致,无可取代。
另外,ASML的股东是台积电、英特尔、三星这些巨头,确保ASML的EUV光刻机可与这些芯片制造大厂商们保持同步,随时调整同步,也不愁卖。在这样的情况下,就算其它厂商就算花巨资研发出EUV光刻机来,也不一定得到芯片厂商的购买,可以说ASML是全球最精细工艺合作的产物。
而EUV光刻机自2015年以来,已经更新了三代,分别是2015年WINSCAN NXE:3400B,每小时处理12寸晶圆125块。
2019年推出NXE:3400C,每小时处理12寸晶圆170块。而2021年推出NXE:3600D,每小时处理12寸晶圆180块。
而今ASML最新一代的EUV光刻机又曝光了,这台新的光刻机型号还未对外公布,每小时处理的晶圆数也没有对外公布。
但这台EUV光刻机与前三代EUV光刻机相比,使用的紫外线波长会变得更低,从而尽可能缩小所制造的芯片元件尺寸(线宽),据称其精度是直达1nm级别的,也就是说可以使用近10年,毕竟芯片跨过nm级,估计10年都不一定办得到。
而这台EUV光刻机的造价超过1．5亿美元(近10亿元),而据ASML的数据,目前最新的NXE:3600D的交付价格为1．45亿美元(约合人民币9．38亿元),所以这种新的EUV光刻机的交付价格,肯定远大于1．5亿美元。
据称这种新的EUV光刻机,体积有一辆公共汽车那么大,包含有10万个部件和2公里长的电缆,运输的时候,需要40个集装箱、3架货机或者20辆卡车才能完成。
当然,这种光刻机看起来很贵,但如果能够买到,还是相当值的,毕竟NXE:3600D就一小时能够处理180块晶圆了,新一代预测可超过200块。
但同样遗憾的是,目前ASML能够卖给大陆厂商的只有DUV光刻机,至于EUV,最最早期的那种NXE:3400B都不能卖的,我们得自力更生,所以加油吧。
