为让中国、日本厂商生产不出EUV光刻机，ASML设了好几道坎

EUV光刻机有多重要，相信了解芯片产业的人都清楚的，因为只要进入芯片7nm工艺就必须用EUV光刻机。

而EUV光刻机目前只有ASML一家能够生产，其它的光刻机厂商，像日本的尼康、佳能，中国的上海微电子都无法生产。

那么问题就来了，如果说上海微电子起步晚，技术有点落后，还生产不了EUV光刻机，那为何历史比ASML更久的尼康、佳能，它们各种技术、设备也不受限，为何也生产不了EUV光刻机？

原因在于ASML在生产出EUV光刻机后，给其它厂商设了几道坎，这几道坎就限制住了其它厂商顺利的生产EUV光刻机来。

EUV光刻机有三大核心技术，一块是曝光光源，也就是极紫外线的产生。第二块就是对准系统，也就是如何将产生的紫外线收集起来。第三部分才是光刻等技术的整合。

在第一部分、第二部分这里，ASML是设置了坎的，其它厂商如果突破不了这个坎，就生产不了EUV光刻机出来。

先说是曝光光源，也就是极紫外线，这里ASML先是收购了美国企业Cymer，后来又与德国的TRUMPF独家合作，这就保证了EUV光线的产生技术只有ASML有，不向ASML之外的厂商提供。

再说说对准系统，就是将产生的紫外线收集，这里是德国的蔡司半导体提供整体的方案，还提供后续所有镜头，而ASML与蔡司在这一块也是独家合作，蔡司不向另外的企业提供这项技术，而目前没有任何其它厂商能够达到蔡司的这个水平。

所以从第一、二部分就注定了EUV光刻技术，暂时只能掌握在ASML手中，除非其它企业在这两块，能够达到TRUMPF、蔡司的技术，但目前还真没有。

此外，在下游厂商上，ASML也是将台积电、三星、英特尔变成了股东，这样保证了这些厂商买EUV光刻机，只从ASML买，毕竟大家需求有限，EUV光刻机市场就这么大。

所以ASML就是先从上游的供应链，将技术掌握在自己手中，让其它光刻机厂商得不到技术，生产不出EUV光刻机。

然后再从下游客户，将客户掌握在自己手中，让其它光刻机厂商不敢轻易生产EUV光刻机，因为去掉这些主要客户后，市场需求就不太够了，就算其它厂商最终生产EUV光刻机也是亏本生意，所以两方面着手，设置了几道坎，让EUV光刻机只有自己能生产。