TCAD基础知识介绍

TCAD相信很多人都用过,很多人说做工艺指导还行,信它就可能把片子玩飞了。TCAD在工艺仿真上有它一定的局限性,毕竟工艺过程总环境、物料、人的影响很大。作为器件仿真还是值得学习一下。

TCAD就是Technology Computer Aided Design,指半导体工艺模拟以及器件模拟工具,世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas,Synopsys公司的TSupprem和Medici以及ISE公司(已经被Synopsys公司收购)的Dios和Dessis 以及Crosslight Software公司的Csuprem和APSYS。此外还有维也纳TCAD GlobalSolution公司的TCAD套件,以及新加坡Cogenda公司的VisualTCAD套件。

TCAD流程:

怎么设计元件,怎样做元件的模拟?

第一条路:DeckBuild  -> command file  ->device simulator

第二条路:process simulator ->structure files ->device simulator

使用TCAD原因:

减少开发成本:ITRS roadmap表明,TCAD仿真可以将开发周期的成本降低30%左右。

内部物理过程可视化:你可以看到设备内部。测量告诉你发生了什么,而不是为什么它发生,TCAD提供了为什么答案。

谁用TCAD :

Foundries 和 Integrated Device Manufacturers

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