5月19日消息,据台媒报道,新竹科学园区今天上午10时突传火警,一科技厂房冒出滚滚浓烟,火势十分猛烈,现场多辆消防车出动救灾,园区也出现大规模跳电,经查可能是亚东气体竹科厂设备故障,导致电路压降,截至目前,火势已被控制。
亚东气体指出,发生火灾的是其新建中的厂房,大部分设备已经完工,推测是变电器过热而引发火灾,但仍需等火势进一步得到控制后才能知晓事故具体原因,后续影响尚未做出评估。
亚东气体还表示,厂区生产环境安全,现场没有化学原料,主要运作方式为利用技术将空气吸入,透过压缩机分离出纯氧及纯氮,民众无需过于担心。
值得注意的是,这厂火灾还将台积电、联电、世界先进和力积电卷入其中。
针对这次火灾,台积电、联电、世界先进均表示,由于压降时间非常短,产线未受影响,目前生产一切正常。
力积电表示,有加装不断电系统的机台,随即马上启动,但未加装的机台受到约80多毫秒压降的影响,实际的报废晶圆片还在评估中,但依照过去经验来看,通常影响不大,且认为明天应该都会恢复正常。