众所周知,当芯片工艺制程进入7nm及以下时,需要用到EUV光刻机。
而全球目前仅一家企业能造出EUV光刻机,那就是ASML,且ASML的年产量不高,2022年仅生产40来台左右。
而目前像三星、intel、台积电、美光等巨头,都需要EUV光刻机,所以其实ASML的光刻机是供不应求的。
理论上来讲,在这样的情况下,应该会有众多的光刻机厂商,摩拳擦掌想要研发出EUV光刻机出来,但事实上,目前除了ASML外,没有其它厂商真正在跟着ASML研发EUV光刻机。比如佳能研发NIL纳米压印,还有研发BLE电子束光刻机等等厂商,大家选择另外的路。
而近日,有日本媒体更是表示,全球没有一家国家,能够独立造出EUV光刻机出来,所以按照ASML的路,去研发EUV光刻机,基本上不可能成功。
报道表示,ASML生产的EUV光刻机,有超过10万个以上的零件,这些零件中,85%是ASML从国外采购的,只有15%是ASML自研的。
而这85%的零件,更是整合了全球的供应链的技术,这些供应链分布于全球30多个国家。日媒表示,目前没有一个国家,能够掌握EUV光刻机的全套技术,荷兰不行,美国不行,日本也不行。
同时因为ASML将这些顶尖的供应链都拉到了自己的集团中,大家利益共享,很难被打破,所以另外的企业,去研发EUV光刻机,基本上非常难。
当然,日媒没有点名中国行不行,但从它的字里行间透露出来的信息,那就是不行,他说是没有一个国家可以独立搞定。
那么日媒说的有没有道理呢?当然是有道理的,ASML目前确实是整合了全球最顶尖的技术,比如光学领域的蔡司,就是天花板,被ASML绑到自己的战车上了。
目前EUV光刻机中的物镜系统,甚至是浸润式光刻机中的物镜系统,全球都只有蔡司一家能够生产,尼康都要从蔡司那获得技术授权和支持,才能生产浸润式光刻机出来。
类似于蔡司这样的企业,还有很多,可以说,其它国家和地区,想要造出EUV光刻机出来,需要再造众多类似于蔡司这样的天花板型的顶级企业,可以说是千难万难。
理论上而言,确实没有任何一家国家,能够将EUV光刻机中的所有核心技术,全部掌握,并且达到最顶尖的水平,最后再结合在一起,造出EUV光刻机出来。
不过,对于我们而言,就算它再难,也不得不迎难而上,因为我们没有选择。当然,还有另外的可能,那就是我们研发出另外的光刻机技术,取代EUV光刻机,比如NIL纳米压印、BEL电子束技术等,目前日本也在走这样换道超车的路。
原文标题 : 日媒:没有一个国家,能独立造出EUV光刻机