众所周知,紧随美国、日本之后,荷兰也出台了关于半导体设备/技术的禁令。
分析荷兰的这个禁令,可以看出来,与美国之前的步调基本一致的,那就是对14nm及以下工艺的设备,全部堵住。
不过在浸润式光刻机上,还留了一道口子,没有全部禁止,其中NXT:1800Di这台浸润式光刻机,不属于管制范围,还是可以出口的。
而根据媒体的说法,这台NXT:1800Di光刻机,采用的是193nm波长,38nm分辨率、1.35NA数值孔径,在多次曝光之下,可以实现最高7nm的工艺,之前台积电的第一代7nm工艺,就是基于这台光刻机实现的。
于是很多网友表示,这样看来,我们还是有希望马上进入到7nm工艺的,没有全部堵死,这可能也是荷兰特意留给我们的一个机会了。
不过,网友的想法是美好的,但现实却是很骨感的,对于当前的中国芯片产业而言,要进入7nm工艺,并不太现实,别说使用这台NXT:1800Di光刻机了,就算买到EUV光刻机,都制造不了7nm芯片。
采用NXT:1800Di光刻机需要多次曝光,目前多次曝光技术有三种,分别是LELE、LFLE、SADP,但不管哪一种,都对刻蚀、 沉积等工艺有非常高的技术要求,同时成本也要高2-3倍,明显对我们并不适用。
更重要的是,芯片制造,并不仅仅看光刻机的精度,还需要其它设备、材料都达到先进的工艺。因为芯片从硅晶圆到成品芯片,中间需要几十种设备,几百道工序。
最简单的来讲,像扩散、薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、CMP抛光、金属化等这些设备,全部要达到7nm工艺才行,还有光刻胶、靶材等,也都要支持7nm工艺。
这些设备、材料等,我们国产的大多还是在28nm、14nm甚至40nm,要实现7nm工艺,绝大部分都需要进口,但是目前先进工艺的设备/技术的进口,基本上都是被卡住的。
国产半导体设备情况
所以,不黑也不吹,靠进口的这一台NXT:1800Di光刻机,短时间之内是实现不了7nm的,甚至就算ASML放开购买,就算我们买到了EUV光刻机,不需要采用多重曝光技术来制造7nm芯片,也一样生产不了7nm的芯片,因为其它设备、材料同样的是被卡住的。
说实话,国产芯片要突破,我们不能将希望寄托在荷兰放开限制,让我们买EUV光刻机身上,而是要放在国产供应链的突破身上。
只有国产供应链全面突破,从光刻机到各种半导体设备、各种半导体材料,全部实现了7nm工艺,才是真正的无后顾之忧,否则都是假象,别人一卡就死,你觉得呢?
原文标题 : 说一个事实:就算我们买到EUV光刻机,也制造不了7nm芯片