9月1日起,浸润式光刻机受限?ASML:今年内中国客户随便买

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众所周知,荷兰之前公布了一个半导体设备的禁令,表示NXT:2000i光刻机,以及更先进的光刻机,是不能卖给中国的,除非拿到许可证。而这个禁令将于9月1日执行。

所以从9月1日起,很多人就表示,接下来国内的晶圆厂可能有点难受了,因为只能买到NXT:1980Di这一款浸润式光刻机了,比它更先进的都不能买,包括EUV。

不过针对这一情况,ASML直接进行了否认,表示2023年内,所有的DUV光刻机,包括NXT:2000i以及更先进的NXT:2050i、NXT:2100i,都能够卖给中国。

而为什么ASML能够无视禁令呢?ASML表示,之前ASML就向荷兰政府申请了许可证,而这个许可证的有效期是覆盖2023年内的,但是从2024年1月1日开始,就失效了,到时候ASML就不能将NXT:2000i及更先进的光刻机卖给中国了。

那么这对中国的晶圆厂,有多少影响么?

说真的,其实影响不大,目前ASML在售的四款浸润式光刻机,分别是NXT:1980Di、NXT:2000i、NXT:2050i、NXT:2100i,数字型号越大机器越先进。

但从参数来看,不管是NXT:2000i,还是NXT:1980Di,或者更高级的NXT:2050i、NXT:2100i,他们的分辨率都是38nm,数据值孔径都是1.35NA,波长都是193nm,经过水的折射后,等效于134nm。

所以理论上,大家能够制造的芯片工艺是一致的,只是晶圆处理速度不一样,这个影响的是产能,但工艺影响不大。

同时浸润式光刻机,最高是能够制造7nm工艺的芯片,不管是相对落后一点的NXT:1980Di,还是最先进的NXT:2100i,最高也都只是达到7nm,也都能达到7nm工艺。

所以中国晶圆厂,不管怎么买,都可以最高实现7nm,同时也无法进入5nm的,因为5nm是需要EUV工艺,这是绕不开的。

更重要的是,既然还有这么多时间,ASML说可以销售,那么国内有需求的厂商也会想办法囤一些最先进的DUV光刻机,以保证接下来一段时间之内的使用。

所以对于这个禁令,大家真的不必太过于担心,除非说所有浸润式都不能销售,只能卖Dry,也就是干式光刻机,那样影响就真的大了。

       原文标题 : 9月1日起,浸润式光刻机受限?ASML:今年内中国客户随便买

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