一台光刻机要多少钱?ASML之前的一台EUV光刻机的价格超过1.5亿美元,也就是13亿元人民币左右。
而据称最新的用于2nm的高数值孔径的EUV光刻机,可能需要3-4亿美元左右,也就是达到了25-30亿人民币去了。
而高端的浸润式光刻机,大约价格是5000美元,也就是3亿多人民币,而普通的DUV光刻机,大约是1000多万美元,也就是7000万元。
数据显示,2022年,ASML从中国市场获得21.6亿欧元的营收,销售了大约100台光刻机,算下来平均价格是2000万元一台。
可见,普通的DUV光刻机的价格,至少是千万起步,而高端浸润式光刻机则是亿元起步,至于更高端EUV光刻机,则至少是10亿元起步。
但近日,俄罗斯媒体报道称,俄罗斯制造出一国产的第一台光刻机,这台光刻机采用的是无掩模纳米光刻技术,成本大约为500万卢布(约36.74万人民币),而国外同类产品高达数十亿卢布(十亿卢布等于7000万元),成本不到百分之一。
当然,俄罗斯没有公布这台光刻机的精度是多少,不过既然比较的是国外数十亿卢布的同类产品,也就是7000万级别以上的,至少也是DUV级别吧,甚至有可能是浸润式光刻机的级别吧。
为何这么便宜?那就不清楚了,估计很大的原因是这是无掩模纳米光刻机,不需要用特殊的掩模。
事实上,俄罗斯之前就提出了一个计划,那就是用X射线来制造芯片,采用的就是这种光掩膜的直接光刻技术,直接操纵X射线在硅晶圆上进行光刻。
俄罗斯的X射线光刻机
而按照俄罗斯的计划,要在2024 年将创建一台名为“Alpha机器”的光刻机,这台机器是要达到7nm工艺精度的。
而这种制造7nm芯片的光刻机,会在2026年出现测试样机,然后在2028年要进行大规模的工业量产,开展全面的芯片生产工作。
并且,俄罗斯之前牛皮可是吹的非常响,说俄罗斯的这种光刻机,在输出方面,同等辐射源功率下,俄罗斯设备的效率将比ASML高1.5-2倍。
现在还不知道俄罗斯是在吹牛,还是真有这本事,不过37万就搞定出第一台光刻机,2026年就出现7nm光刻机的测试样机,看样子吹牛的成分居多,你觉得呢?
但不管怎么样,还是希望俄罗斯能够成功吧,毕竟在芯片制造这一领域,俄罗斯和我们算是一系的,都是在美国的封锁之下突破,敌人的敌人也算是朋友吧。
原文标题 : 仅37万元,俄罗斯自研出光刻机,计划2024年搞定7nm芯片