尼康的下一步:开拓中国光刻机市场

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前言:

近日,日本媒体报道称,尼康公司计划扩大与中国市场的业务合作,以增加其光刻机在中国市场的份额,并可能开发新产品,将其投入中国市场。 

尼康此举的原因是趁当前ASML光刻机处于敏感时期,试图抢占部分市场份额。

作者 | 方文三

图片来源 |  网 络  

尼康早已远离高端光刻机市场

过去中国主要进口ASML的光刻机,市场份额超过90%。 

在超高端领域,即极紫外(EUV)光刻机,目前只有ASML能够生产。 

从2022年的光刻机销量来看,排在首位的ASML的全球市场份额为62%,排在第2位的佳能为31%,尼康排在第3位,仅为7%。 

加之目前日本已经禁止了包括微影曝光、沉积和清洁在内的23种高效能的半导体器件等六大类别的23种产品; 

荷兰也对高端光刻机实施了严格控制,三年前开始,他们就和中芯公司签订了EUV光刻机的合同。 

受光刻机业务严重下滑的影响,尼康的净利润出现了近八成的暴跌,这凸显出该公司在很大程度上依赖于光刻机业务所带来的利润。 

随着数码相机市场逐渐衰落,尼康的影像技术在其他领域的发挥空间已经变得相对有限,而光刻机成为了其重要的市场。 

尼康的浸润式光刻机主要销售的是KrF和ArF光刻机、i线和G线等成熟型号的光刻机,主要用于制造45nm及以上的芯片。 

尼康之前的光刻机主要供货英特尔。但去年日媒报道,尼康宣布要大举扩大光刻机产能,提高到目前的3倍以上,并减少对英特尔的依赖,加大大陆市场布局。 

布局浸入式光刻机新品,意在中国市场

尼康高管已经正式公布了进军中国市场的消息,并计划到2026年将其对中国的光学设备出口量提高三倍。 

这一举措反映了尼康对中国市场的重视,并希望通过扩大合作来进一步巩固和拓展其在该领域的影响力。 

根据尼康透露,它所要布局的NSR-S635E ArF 浸入式光刻机与ASML的EUV光刻机不同: 

使用DUV光源就可以加工5—7纳米的芯片,每小时可以制造275片晶圆,并且不使用美国技术。 

尼康公司目前不具备5-7nm芯片的技术能力,因此在中国市场的竞争力受到一定限制。 

而尼康则可以制造浸润式光刻机,因此其理论上可以达到最高精度为7nm的制造水平。 

然而,尼康仍有实力争夺中国的DUV光刻机市场,这也是一个翻盘的机会。 

中国如果与尼康保持一定的合作关系,可以制衡ASML,并进一步扩大美国与ASML之间的裂痕与分歧。 

此外,日本尼康基于自己的市场需求要布局中国市场。 

然而,尼康能够出口给中国的设备与技术无疑非常有限,也基本都是非常成熟的老旧设备。 

这对解决中国缺少核心光刻机设备的现实困境帮助非常小 

中国对7纳米及以下的高端光刻机需求量仍然非常大,但这方面的缺口很难依靠日本的进口来解决。

发布光刻系统新技术,意在弯道超车

尼康于今年8月宣布,计划于2024年夏季左右发布25年来首次将投影倍率降低至5倍的i-line步进机NSR-2205iL1。 

在光刻系统中,i-line是针对传统工艺的,但近年来,通信半导体和MEMS领域的需求增加,以功率半导体的需求增长为中心,不过该公司决定推出一款新产品传统i-line曝光设备老化且供应紧张、投影倍率降低至5倍。 

NSR-2205iL1与现有i-line曝光系统高度兼容可以重复使用传统i-line曝光系统中使用的掩模和配方从而可以轻松更换现有系统。 

具有多点自动对焦(AF)的高精度晶圆测量、先进的晶圆台调平性能、宽DOF(扩展的焦深范围)等同时保持各种半导体制造工艺中的良率水平。 

使其能够实现高生产率具有宽范围的晶圆厚度、尺寸和翘曲公差并且与SiC和GaN等下一代功率半导体材料兼容,因此可用于广泛的应用是可能的。 

此外,尼康决定于2024年投放新产品,这也是时隔24年再次推出采用成熟技术的光刻机,使用i-Line光源技术,可以用于制造要求耐久性的功率半导体等。 

海外分析认为,尼康将在新产品使用通用的电子零部件等,价格比佳能便宜20%—30%。

ASML的震惊与市场垄断的破局

ASML公司一直以来保持着光刻机领域的领先地位,几乎垄断了整个市场。 

但是,随着日本佳能的自主研发和技术创新,这种局面正在发生改变。 

日本的铠侠计划计划在2025年利用NIL的5nm工艺制造存储芯片,而SK海力士也引进了佳能NIL半导体设备。 

日本佳能和尼康在光刻机等领域的快速崛起,有望打破ASML公司的垄断地位,并推动整个半导体芯片行业的发展。 

这也意味着ASML将面临来自中国和日本等国的强有力竞争对手。 

结尾:

在全球半导体产业的竞争大潮中,自主研发和产业升级被视为应对市场变化的重中之重。

在这场高技术竞赛中,中国能否取得优势,将极大地取决于其长期的战略规划以及研发投入的效果。 

部分资料参考:熊猫科技说:《中企购买浸没式DUV光刻机!尼康中标,ASML按捺不住了》,半导体前沿:《日本尼康能否深度参与中国光刻产业链合作?》

       原文标题 : AI芯天下丨产业丨尼康的下一步:开拓中国光刻机市场

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