直播预告 | 面向半导体行业的超高精度测量解决方案

海克斯康 中字

半导体检测是控制生产良率的关键环节,贯穿于设计、制造、封装测试等半导体生产流程中的各个环节。细微处见真章,半导体零部件的尺寸要求非常严格,需要极高精度的测量设备才能保证检测结果精准;同时检测设备的稳定可靠以及一机多用,也是行业用户的普遍需求。

海克斯康PMM-C 系列超精度三坐标测量机挑战半导体零部件尺寸检测新高度搭载适用范围广泛的接触和非接触探测系统,实现微小精密零部件的亚微米级检测。本期直播,海克斯康技术专家向半导体制造,针对电子、汽车等多行业的各类精密零部件,为大家带来兼具超高精度和效率的测量解决方案。

超高精度测量

  • 提供亚微米级的超高精度,精度可达0.28微米;

  • 配置主动减振系统,消除环境振动影响;

  • 每个测量轴都能够提供高刚性,确保整个测量范围内精度一致;

  • 专利设计的固定龙门、移动工作台结构,可确保长期稳定性。

高柔性多功能

  • 集成光学和接触测量传感器,满足各类半导体零部件测量应用需求;

  • 多种探测系统在同一个测量程序内自动更换,让测量更灵活更高效;

  • 通过低测力的接触式测头和非接触式测头,保证易变形易损伤零部件的安全。

应用范围广泛

  • 电子工业用小型塑料元件的测量

  • 小型塑料透镜精密模具导针的测量

  • 智能手机相机塑料镜头的非接触式测量

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