半导体检测是控制生产良率的关键环节,贯穿于设计、制造、封装测试等半导体生产流程中的各个环节。细微处见真章,半导体零部件的尺寸要求非常严格,需要极高精度的测量设备才能保证检测结果精准;同时检测设备的稳定可靠以及一机多用,也是行业用户的普遍需求。
海克斯康PMM-C 系列超精度三坐标测量机挑战半导体零部件尺寸检测新高度,搭载适用范围广泛的接触和非接触探测系统,实现微小精密零部件的亚微米级检测。本期直播,海克斯康技术专家面向半导体制造,针对电子、汽车等多行业的各类精密零部件,为大家带来兼具超高精度和效率的测量解决方案。
超高精度测量
提供亚微米级的超高精度,精度可达0.28微米;
配置主动减振系统,消除环境振动影响;
每个测量轴都能够提供高刚性,确保整个测量范围内精度一致;
专利设计的固定龙门、移动工作台结构,可确保长期稳定性。
高柔性多功能
集成光学和接触测量传感器,满足各类半导体零部件测量应用需求;
多种探测系统在同一个测量程序内自动更换,让测量更灵活更高效;
通过低测力的接触式测头和非接触式测头,保证易变形易损伤零部件的安全。
应用范围广泛
电子工业用小型塑料元件的测量
小型塑料透镜精密模具导针的测量
智能手机相机塑料镜头的非接触式测量