2023年一过,正如大家预计的那样,ASML的DUV光刻机出口,就受到了限制了。
ASML正式发布通知,称两款DUV光刻机的许可证被吊销,这两款光刻机分别是NXT:2100i、NXT2050i,自2024年开始,无法出口到中国大陆来了。
事实上,对于这个消息,很多人并不会意外,因为之前ASML已经说过了,2023年内,DUV光刻机拿到了许可证的,不受限制,但2024年许可证会过期。
不过,意料之中又有意料之外,那就是ASML称只有两款被吊销许可证,而目前浸润式DUV光刻机里面,一共有4款,那么另外还有两款是有许可证,可以出口的?
如下图所示,这是目前ASML官网上浸润式DUV光刻机的型号,下面这4种,都是浸润式DUV光刻机,是仅次于EUV光刻机的先进机器。
分别是NXT:2100i、2050i、2000i、1980Di这四种。前面两种吊销了,后面两种没说,那默认是可以出口的?
要知道按照美国去年10月份的最新禁令,只要光刻机套刻精度的DCO值小于1.5nm时, 就不准出口,而这4款机器,其DCO值,都是小于1.5nm的。
按照这个禁令来说,其实这4款浸润式DUV光刻机,都不能出口的,但ASML没有提及,在我看来,那么另外两款,也许ASML是有许可证的,否则肯定会单独提,你觉得呢?
浸润式光刻机,是可以实现7nm芯片工艺的,甚至浸润式光刻机之父林本坚前段时间还说过,浸润式DUV系统,理论上还可以实现5nm芯片工艺,只是需要多重曝光,需要付出高昂的代价。
而这也是为何美国要卡浸润式DUV光刻机的原因,因为美国希望将中国芯片工艺,锁死在14nm,任何可以进入14nm及以下的设备/技术,都要锁死。
不过,大家也都清楚,事实上,目前国内的芯片工艺,早突破了14nm,华为麒麟9000S系列,就是明证。
另外,就算许可证被吊销了,大家也不必太过于担忧,因为2023年,国内已经囤积了足够多的光刻机,数据显示,1-11月份,我们从ASML进口了500多亿元的光刻机,是2022年的3倍,很明显可以足够用几年了。
但另外一方面,随着许可证被吊销,也意味着接下来,需要国产光刻机突破了,否则囤积再多,也有用完的时候,那时候国产光刻机再顶不上来,就要缺货了。