格创东智AMHS,开启泛半导体效率提升新篇章

OFweek电子工程网
关注

日前,格创东智在短短15天内成功交付首台Stocker晶圆存储立库,助力头部12吋晶圆厂实现高效自动化物料存储扩展的需求。这一成就不仅是公司业务的一次前进,更是国内AMHS技术发展的一次重要突破。

FAB厂物料存储Stocker,专为FOUP/SMIF Pod等多种载具的存储与搬运,其可根据客户现场空间及其他特色需求提供定制化服务,以最大限度利用FAB厂空间。搭载智能储位管理系统的Stocker,在FAB厂减少出库时间,提高搬送效率方面发挥着重要作用,为工厂实现Fully Auto提供重要支持。格创东智自主研发的Stocker产品线,除FOUP Stocker外,还包括国内首研的Tower Stocker,自2022年起已陆续交付客户,全面覆盖8吋、12吋料盒的存储使用场景。

图片

对于FAB厂Stocker而言,存储只是基础需求。与AMHS上位系统进行实时通讯,实现MCS帐料自动管理,减少搬运拥堵,确保机台排产高效,是客户的高阶追求。

众所周知,AMHS主要由OHT空中搬运小车、Stocker晶圆存储立库、MCS/OHTC/STKC等软件系统组成。其中OHT作为技术最复杂的部分,其在不同FAB厂的需求也不尽相同,当前主流8吋晶圆厂的物料搬运系统因轨道岔路的数量和类型相对较少,搬运效率相对较低。而12吋晶圆厂轨道布局极其复杂,包含各类岔路、弯轨、高低轨道和升降装置;且因产能提升,对搬运速率的要求更高,需要配置更多的传感器、激光雷达等产品与控制系统;同时OHT的调度算法也更为复杂,软件迭代速度需紧跟客户需求。

图片

对此,格创东智AMHS产品负责人指出,公司在不同晶圆厂的Demo Line验证时,已提前考虑市场需求,在性能、稳定性及软件功能等方面持续开展了大量优化迭代工作。为了更好地助力客户成功,格创东智不断迭代“AI+工业软件+装备智能”三大核心能力,加速软硬件能力的整合。公司自主研发的OHT天车涵盖前道6吋/8吋SMIF Pod和12吋FOUP,后道Magazine,满足不同工序工厂的载具搬运需求;并提供多种轨道模组,满足12吋晶圆厂复杂的Layout需求;在OHT设备与人员高效协作方面,通过11种安全防护传感器,有效识别与自动预警天车速度、障碍躲避、碰撞检知、料盒断裂、升降晃动、硅片坠落、料盒位置等运行状况,打造高效的自动化、洁净化、低震动化的物流自动搬运方式。此外,格创东智通过设备、软件、算法和应用多维度自主研发成果结合,助力客户业务成功,提供AMHS在调度层、控制层、设备层的全栈化产品,释放客户生产的无限可能。

图片

依照摩尔定律,半导体行业呈现产品升级迭代快、性能持续提升、成本持续下降、制程不断缩小的发展趋势。而AMHS的技术发展方向与半导体产业的未来走势密切相关。格创东智作为坚持自主研发AMHS整套自动化软硬件、设备零部件及改造解决方案的先驱企业,坚信只有自主研发的软硬件,才能应对高节拍生产中的所有不确定性。虽然自主研发之路充满挑战,但对陪伴客户全生命周期成长,满足客户不同发展阶段的柔性化升级需求,具有长远价值。

目前,格创东智在AMHS领域目标清晰,路径明确,作为国内AMHS自主研发的领军企业,我们将持续投入于产品的精细化打磨、系统性能和稳定性的提升,加速AMHS国产化替代目标的实现。

       原文标题 : 格创东智AMHS,开启泛半导体效率提升新篇章

声明: 本文系OFweek根据授权转载自其它媒体或授权刊载,目的在于信息传递,并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责,如有新闻稿件和图片作品的内容、版权以及其它问题的,请联系我们。
侵权投诉

下载OFweek,一手掌握高科技全行业资讯

还不是OFweek会员,马上注册
打开app,查看更多精彩资讯 >
  • 长按识别二维码
  • 进入OFweek阅读全文
长按图片进行保存