Lam Research(科林研发)
Lam Research为全世界第三大半导体设备商,总公司于1980年成立于美国加州硅谷、1984年股票于美国NASDAQ上市、电浆蚀刻设备为全球销售之冠、四十多家子公司遍及欧洲、日本、韩国、新加坡、台湾、中国大陆等世界各地。
科林研发(Lam Research Corp.)是面向全球半导体行业提供晶圆制造设备和服务的主要供应商。科林研发30多年来始终致力于推进半导体制造。科林研发是等离子刻蚀和单晶圆清洗技术与市场份额的领先厂商,科林研发凭借全面的专业技术解决目前最尖端的半导体工艺难题。科林研发总部在加利福尼亚州弗里蒙特,并有一个遍及北美、亚洲和欧洲的全球服务网络,满足全球客户群多种多样和不断变化的需求。
作为半导体制造设备和服务给全球半导体行业的领先供应商,科林研发开发创新的解决方案,帮助客户构建更小、 更快、 功能更强大、 更节能的电子设备。
美国科林研发公司在上海和北京设立了分公司和代表处,主要负责中国区客户的售后服务。
LKA-Tencor(科磊)
美商半导体设备大厂科磊(KLA-Tencor)成立于1976年,位于美国加州,是全球主要的半导体设备供货商,专精制程良率和提供制程控管量测解决方案,目前全球分公司遍布美洲、欧洲、亚洲等数10个国家,科磊在台湾分公司则是成立于1990年。
科磊第一台拥有操作和检测450mm(18吋)晶圆的制程控制系统Surfscan SP3 450,是全自动化非图形成像晶圆缺陷检测工具,针对检测20纳米制程或以下的线宽制程缺陷和晶圆表面的需求,可供450mm表面抛光晶圆和硅基(Epitaxial)晶圆的生产制程控制。
科磊投入先进制程设备开发,也包括电子束(E-beam)技术机台,台积电才表示未来在7纳米制程,会在EUV机台和电子束(E-beam)机台上做出选择,其中科磊是E-beam机台的合作伙伴之一,其他合作对象包括Mapper Lithography和IMS。
在极紫外光(EUV)机台方面,目前最积极投入的是荷兰半导体设备大厂ASML,日前也获得台积电、三星电子(Samsung Electronics)和英特尔(Intel)的入股投资。
KLA-Tencor China(科天中国)成立于1999年,隶属KLA-Tencor 公司旗下,针对中国独具特色的市场,旨在为半导体、数据存储、LED、光伏和后端封装等产业提供服务。Kla-Tencor在中国上海、天津、北京、苏州成立分公司或办事处,2003 年成立工程开发中心。