直到时任台积电研发副总经理的林本坚提出“浸入式光刻技术”,利用现有成熟技术改造,给半导体设备制造商节省研发投入,并减小芯片制造商的导入成本。
“浸入式光刻”方案一出,基本上宣判了半导体界正在开发的各种“干式”微影技术方案的死刑,意味着此前投入巨量的资金和人力几乎打了水漂,美国、德国、日本等大厂们基本都拒绝采用,但是作为新生力量的ASML表示愿意一试。
2004年,阿斯麦和台积电共同研发成功全球第一台浸润式微影机。Nikon那一年也宣布采用干式微影技术的157nm产品和电子束投射(EPL)产品样机研制成功。
但阿斯麦的产品属于改进型成熟产品,相对于尼康的全新研发应用成本低,而且缩短光波比尼康的效果还好,结果,没人愿意买Nikon的产品,溃败由此开始,市场份额被ASML大口吃进。
如今技术并非唯一竞争标准
虽然每台售价1亿多美元,但它具有垄断性,芯片制造工厂台积电、三星、Intel、中芯都是排着队在等货。
由于台积电、三星、Intel等公司有入股,所以有优先购买权。加上欧盟和美国的技术出口管制条约瓦森纳协议,中芯即使排着队,也很难买到ASML最先进的产品,一般只能买到几年前的产品。
正因为技术难度大,ASML即便投入大量研发费用,也未能实现完全自主,它仍要从美国、德国、日本等国家进口零部件。比如,其光刻机的镜头,是从德国购买而来,而电源则购于美国。
当今电子工业,依然受摩尔定律影响,基本一年半就得迭代一次,这就导致芯片厂商排队,也要买最新光刻机,不然就无法造出高端芯片。
阿斯麦好比一家掌握着独家秘方的私房菜馆,别人不仅轻易学不到秘方,想吃他家菜还得斥巨资。也正因此,ASML垄断着100%的7nm以下光刻机市场,是的100%更严重的是,想买它还不一定敢卖。
而背后有着台积电、因特尔以及三星和德国蔡司等知名科技巨头的撑腰,荷兰ASML公司在光刻机制造领域只会继续一路高歌。
除了技术问题外,荷兰ASML公司生产的光刻机充分体现了利益捆绑的战略,ASML的光刻机所需要的零部件中,大约有90%的依赖进口。
这意味着阿斯麦的业绩如果上升了,那向其供货的美国、德国、法国、英国、日本等国的相关企业都获利丰厚。除此以外,三星、台积电不仅是荷兰ASML公司的大客户,也是ASML公司的股东。
这种利益捆绑,使得三星、台积电能优先获得光刻机,保证了他们的市场地位都很稳固,从这些角度来看,荷兰光刻机引领全球的原因,不仅仅只是技术问题。
结尾:
目前从产品上看,ASML的产品遍及低、中、高、超高端市场,产品种类丰富。在超高端的5nm、7nm领域,ASML是全球唯一能够生产的厂商,其EUV光刻机设备的市场占有率达100%。
尼康的光刻机涉及低、中、高端市场,尼康的NRS系列与ASML的ArF浸入式光刻机参数指标大体相近,基本可以达到ASML高端产品的水准,但是在高端的5nm、7nm领域无力与之抗衡。