而为了防止老牌半导体及光学企业日本豪雅（Hoya）的恶意收购，今年1月，作为全球最大硬盘驱动器玻璃盘基片制造商，东芝加强了对于NuFlare的控制，同时向其增派25个工程师，以在本财年开始新一代适用于EUV光刻机的电路刻画设备的出货。
此外还有Gigaphoton。Gigaphoton是日本工程机械制造商小松（Komatsu）的独资子公司，在EUV光刻机成功研发之前，该公司是光刻机用准分子激光器光源的两大制造商之一，另一家则为Cymer。但随着Cymer被ASML收购，Gigaphoton逐渐在竞争中处于下风。目前，在ASML计划于2022年发布下一代EUV设备之前，Gigaphoton表示将开发出新的光源部件，以夺回失去的市场份额。
芯片生产设备供应商的竞争白热化，离不开三星电子和台积电等全球领先企业在芯片制程上的追逐战。考虑到5G部署和其他尖端技术对于高端芯片的需求不断增长，尽管售价极其高昂，三星和台积电仍在争相购买ASML的EUV光刻机。
根据SEMI（国际工业协会）和日本半导体设备协会（SEAJ）的数据，日本制造的半导体生产设备在过去20年保持了对全球市场约30％的占有率，在2019年达到31．3％。
在芯片制造设备行业，赢者通吃的趋势越来越强，至少在光刻机领域早已是一家独大。生产商们在制造过程中也面临着越来越多的挑战。由EUV技术引发的变革，也可能会使越来越多芯片制造设备制造商退出这个舞台。
