ArF
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国产光刻胶自给率现状：EUV为0%，ArF为1%，KrF为5%
2023-06-12
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南大光电：公司ArF光刻胶产已通过两家客户认证
2022-11-29
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南大光电：公司ArF光刻胶产品已通过存储芯片/逻辑芯片制造企业验证
2022-04-14
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华懋科技：徐州博康具备ArF光刻胶的技术能力
2022-02-24
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晶瑞电材：已经开始研发高端ArF光刻胶
2021-12-16
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自筹7亿元 彤程新材研发ArF高端光刻胶：两年后完成
2021-08-17
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ASML ArF设备交期延长至2年！半导体设备荒正在加剧
2021-08-05
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南大光电引入国家大基金二期1.83亿战投，致力发展ArF光刻胶
2021-07-29
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华为入股全球第3大193nm ArF准分子激光技术公司
2021-06-07
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南大光电高端ArF光刻胶新突破，国产化势在必行
2021-06-02
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ASML子公司Cymer最新ArF光源通过ASML扫描仪认证
2020-07-02
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打破日美垄断 国产ArF光刻胶取得重大突破：可用于7nm工艺
2020-05-23
