众所周知,在芯片的生产过程中,需要几十道工序,几百种设备,缺一不可。
而这些设备基本上都是与芯片工艺相关的,比如光刻机、刻蚀机、薄膜沉积和过程检测等等都是对应着XXnm工艺的,不是说有了设备,就可以生产任意工艺制程的芯片。
目前国内很多厂商的设备,能够支撑的工艺大多在28nm及以上工艺,也有些达到了14nm,再往下就极少极少了。
国内第一家进入5nm产线的设备厂商应该是中微半导体,他们家的刻蚀机在2019年的时候就实现了5nm的精度,并且被台积电使用,用在5nm芯片的制造之中。
事实上,在中微之后,也有第2家国产厂商,早成功打入5nm生产线了,并且在干法去胶设备领域,更是全球第一,这家厂商就是北京屹唐半导体科技股份有限公司(简称“屹唐股份”)。
屹唐股份的主营业务主要有三块,分别是干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备,这些设备都是用于芯片制造的。
先说说干法去胶设备,这个过程是在光刻之后,去除晶圆上光刻胶的设备,目前屹唐股份干法去胶设备可以用于90nm到5nm芯片,并且被三星、台积电、中芯国际、美光等厂商使用,更重要的是,干法去胶设备,屹唐股份的市值份额全球第一。
再说说快速热处理设备,这种设备是用于增加光刻胶和基片间的黏附能力的设备。屹唐股份的快速热处理设备也能够用于90nm到5nm的芯片,主要客户同样有台积电、三星、SK海力士,中芯国际这些巨头,从市场份额来看,排名全球第二。
而他的干法刻蚀设备主要可用于65nm到5nm的芯片,主要客户是三星、长江存储,从市场份额来看,排名全球第10。
为何屹唐股份能够这么强,这不得不说一下屹唐的核心子公司MTI(Mattson Technology Inc．)了,它是一家美国半导体设备厂商,成立于1988年,主营就是半导体设备的研发和生产,后来在2016年被屹唐股份私有化收购了,成为了屹唐的子公司。
而屹唐股份收购了MTI公司后,也把他们的核心高管留了下来,也吃透了他们的技术。而MTI在干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备方面都很强,于是顺理成章的,屹唐股份也就拥有了这三种设备的全套技术。
后来屹唐股份在2018年建好了中国研发制造基地后,也将这3种设备实现了本地化的生产和销售,也就实现了国产设备在这三个领域的大步前进。
