MEMS技术

MEMS技术（微机电系统技术）是一种将微小机械结构、微电子元器件和集成电路等集成在一起的技术，可以制造出极小的传感器、执行器和微机械系统。这些微型器件可以用于各种领域，例如医疗、环境监测、自动驾驶等。 微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。